超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠zui大圓晶尺寸為12英寸，轉速可達3000rpm，加速度可達2000rpm；具有轉速穩定，啟動迅速，操作方便等優點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優良的產品.

加熱勻膠機產品特征：

  1. 采用直流無刷電機，單片機控制

  2. 高清晰觸摸屏控制

  3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作

  4. 防堵膠設計

  5. 鋁合金腔體，堅固耐用

  6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助

超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數：

 

產品名稱	超聲波輔助氣氛勻膠機
產品型號	CY-SPC12T-SS-UL
勻膠機	圓晶尺寸	12英寸
	旋轉速度	30~3000rpm可調
	旋轉加速度	30~2000rpm/s可調
	單次*長勻膠時間	3000s
	勻膠腔體尺寸	φ390mm*90mm
	電壓	220V 50Hz
	功率	1.5KW
	加熱溫度	0-100℃
	質保時間	易損件除外，1年，終身技術支持
	勻膠機真空吸盤	12寸 一個（標配）；6寸 一個（定制）
	勻膠機定制純機械卡盤	12英寸 一個（額外定制）；6英寸 一個（額外定制）
	無油真空泵	型號：AP-2000V 功率：0.55kw *低真空度：-700mmHg；-92Kpa *大空氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg
超聲波系統	霧化頭材質	鈦合金
	頻率	50kHz
	功率	30W
	流量	0.55mL/s
	微粒直徑	25um
	霧化頭類型	錐型
	霧化頭重量	0.3kg
	超聲波電源尺寸	315*312*135mm
	超聲波電源重量	5kg
注射泵	流量范圍	0.001uL/min-43.349mL/min
	掉電記憶工能	保存設置參數，重新上電后，無需設置
	適用進樣器規格	10uL-1000uL
	適用注射器規格	1mL-60mL
	加熱溫度	0-100℃
	線速度范圍	5um/min-65um/min
	線速度調節分辨率	5um/min
	*大行程	140mm
	行程分辨率	0.156um
	額定線性推力	＞90N
流量計	控制氣體種類	2種
	氣體流速	16-160mL/min