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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):區(qū)域提純爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MT1200-50IT(*高溫度1200℃)
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
該區(qū)域提純爐主由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。區(qū)域提純爐廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
詳情介紹:

該區(qū)域提純爐主要由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

主要技術(shù)參數(shù):

工作溫度:1200

爐管長(zhǎng)度:1200mm

爐管直徑:50mmm

爐管厚度:5mm

密封方式:不銹鋼真空法蘭

真空度:1.0X10E-3Pa

流量計(jì)類(lèi)型:質(zhì)量流量計(jì)

氣體流量:100SCCM200SCCM500SCCM

載料舟長(zhǎng)度:200mm

移動(dòng)速度:160mm/60min(可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié))

溫度控制:50段可編程控制

控制系統(tǒng):全電腦程序控制

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)