該二維材料生長(zhǎng)設(shè)備由預(yù)熱爐、反應(yīng)爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)以及軌道支架五部分組成。前端配的預(yù)熱爐能夠用來(lái)預(yù)熱蒸發(fā)固態(tài)源，反應(yīng)爐能夠提供反應(yīng)所需的熱環(huán)境。兩臺(tái)電爐均安裝在滑軌支架上，可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫，提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管內(nèi)配有熱電偶測(cè)溫，可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。所有電路均采用高清全彩觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)單直觀易于上手。

       供氣系統(tǒng)采用兩路質(zhì)量流量計(jì)，流量控制精密，操作簡(jiǎn)單直觀；真空系統(tǒng)采用高品質(zhì)雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)1.0E-1Pa，完全滿足CVD晶體生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)的需要。

二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備用途：

       本產(chǎn)品主要應(yīng)用于二維材料的CVD法生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)，尤其適合二維硫化鉬的制備。

二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

預(yù)熱爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-O1200-100I-T-S
	爐膛長(zhǎng)度	300mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	200mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	100mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD（高清全彩觸摸屏）
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
單溫區(qū)管式爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-O1200-100I-T
	爐膛長(zhǎng)度	440mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	400mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD（高清全彩觸摸屏）
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
爐管	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管長(zhǎng)度	φ100mm x 1800mm
	密封方式	304不銹鋼真空水冷法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭
供氣系統(tǒng)	兩路質(zhì)子流量計(jì)	北京七星華創(chuàng)，質(zhì)子流量計(jì)
	流量范圍	MFC1量程：0~200SCCM  MFC2量程：0~200SCCM
	測(cè)量精度	±1.5%F.S
	重復(fù)精度	±0.2%FS
	線性精度	±1%F.S.
	響應(yīng)時(shí)間	≤4s
	工作壓力	-0.15Mpa~0.15Mpa
	流量控制	LED高亮數(shù)碼管顯示，按鍵調(diào)節(jié) 每路氣體含有針閥單獨(dú)控制
	進(jìn)氣接口	可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管
	出氣接口	可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管
	連接方式	雙卡套接頭
	工作溫度	5~45℃
	氣體預(yù)混	配氣體預(yù)混裝置
排氣系統(tǒng)	機(jī)械泵	旋片泵
	抽氣速率	4L/S
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	極限真空	1.0E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16
軌道	軌道長(zhǎng)度	1.8m~2m 能實(shí)現(xiàn)兩個(gè)爐子一個(gè)爐位長(zhǎng)度的滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速升降溫

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