功能特點(diǎn)：

離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點(diǎn)。十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

技術(shù)規(guī)格：

多弧離子鍍膜儀
樣品臺	尺寸	行星式樣品臺，外徑305mm，四周六工位 工件可懸掛于各工位的支撐棒上 外周轉(zhuǎn)速1~20rpm可調(diào)
多弧離子靶	數(shù)量	φ84mm X 2
真空腔體	腔體尺寸	φ300mm X 400mm
	觀察窗口	前置φ100mm含遮光片
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	前開門式
膜厚控制	晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)	前級泵	雙極旋片泵
	抽氣接口	KF16
	次級泵	渦輪分子泵
	抽氣接口	CF160
	真空測量	電阻+電離  復(fù)合真空規(guī)
	排氣速率	機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
控制系統(tǒng)	自動控制  操作界面：觸控屏+操作面板
其他	供電電壓	AC380V,50Hz
	整機(jī)尺寸	1000mm X 800mm X 1500mm
	整機(jī)重量	350kg
	整機(jī)功率	5kW