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CY-O1200BG-Φ70-100×100×100-V-T是一款小型的1200℃布里奇曼單晶生長爐,配有內徑Φ72mm石英管和精密爐體移動機構(*大行程200mm) ,此設備設計用于在氣氛控制環境下生長小尺寸的單晶或材料定向凝固。
布里奇曼單晶生長爐技術參數:
產品名稱
1200℃小型布里奇曼晶體生長爐
產品型號
CY-O1200BG-Φ70-100×100×100-V-T
工作電壓
208~240VAC
*大功率
3W
加熱溫區
2個加熱溫區:每個溫區100mm,總溫區長度200mm
*高加熱溫度
1200℃
連續工作溫度
1100℃
溫控器
2個程序溫控器,分別獨立控制2個溫區,控溫精度可達±0.1℃
*大溫度梯度
1℃/cm
·用戶需找到合適的溫度梯度
·可通過調節2個溫區的溫度,能創造不同的溫度梯度
·調節爐體打開的直徑也可改變溫度梯度
·設備中包含石英管(外徑Φ80mm×內徑Φ72mm×長800mm)和不銹鋼密封法蘭
采用伺服電機來驅動爐體上下移動
·私 服電機+高精度直線模組保證爐體在移動過程中不卡頓
·爐體移動有慢速提拉和快速移動兩種模式
·*大移動行程:200mm
·移動速度范圍:0.03mm/hr--30mm/hr(可調,精度+/-1um)
·可根據客戶要求來定制爐體移動速度范圍
密封法蘭:
·一對不銹鋼密封法蘭,用于密封石英管
·頂部法蘭安裝有壓力傳感器和Φ6.35mm出氣口
·底部法蘭有KF25真空接口和Φ6.35mm的進氣口
·底部法蘭采用步進電機驅動升降,用于裝入和取出坩堝
·設備中配有一直徑Φ60mm×70mmH的石墨坩堝
·坩堝臺安裝在底部法蘭上
·真空度:10-2torr(采用機械泵),10-5torr(采用分子泵系統)
觸摸屏控制面板可控制爐體移動速度,移動行程和爐體溫度和顯示坩堝的溫度,也可控制爐管內部氣壓
·配合加熱爐升溫曲線設置預提拉時間,例如設置5個小時后開始提拉
·溫度曲線功能,時時顯示兩條控溫曲線和坩堝底部溫度曲線,溫度曲線數據可以保存記錄和導出
·2個歐陸儀表(Eurothermo)分別控制2個溫區,控溫精度+/-0.1℃
·包含3根K型熱電偶
2根熱電偶分別控制和檢測2個溫區的溫度
1根熱電偶用于檢測坩堝底部的溫度
·坩堝臺與底部法蘭相互連接
·一個數顯壓力傳感器和電磁閥安裝在密封法蘭上,用于控制爐管內氣壓恒定,控制范圍:0.01MPa-0.02MPa