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膜厚控制儀
技術(shù)特點(diǎn)：
1. 全觸屏操作，簡(jiǎn)單易用；
2.32個(gè)膜系，每膜系50/100層自動(dòng)鍍膜；
3. 12路信號(hào)輸入/12路開(kāi)關(guān)量輸出；
4. 提供全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)控制模式;
5.可控制2個(gè)源，一套工作另一套預(yù)溶；
技術(shù)參數(shù)：
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CY-FDC-S控制儀 |
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晶振頻率 |
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
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顯示方式 |
5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 |
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操作方式 |
觸摸屏 |
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終 厚 |
00μ0000?-99μ9999? |
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厚度顯示分辨率 |
1?/s |
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速率顯示分辨率 |
0.1?/s |
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鍍膜層數(shù) |
32膜系，每膜系50/100層； |
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探頭數(shù)量 |
A B |
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工具因子 |
0.01-99.99 |
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時(shí)間顯示 |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
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功率顯示 |
0～99.9% |
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預(yù)熔功率 |
0～99% |
|
預(yù)鍍功率 |
0～99.9% |
|
預(yù)熔時(shí)間/預(yù)鍍時(shí)間 |
0～99:99 m:s |
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預(yù)熔保溫時(shí)間 /預(yù)鍍保溫時(shí)間 |
0～99:99 m:s |
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鍍膜速率（設(shè)定速率） |
0～999.9?/s |
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材料存儲(chǔ) |
257+自定義10種 |
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通 訊 |
RS232/RS485 |
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可控蒸發(fā)源 |
2個(gè)，可一套工作另一套預(yù)溶 |
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輸出控制 |
±10V/5V/2.5V |
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I/接口 |
12路信號(hào)輸入/12路開(kāi)關(guān)量輸出 |
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可控坩堝數(shù)量 |
1-16個(gè) |
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鍍膜顯示 |
速率曲線/數(shù)值 |
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鍍膜巡回次數(shù) |
每膜系50/100層自動(dòng) |
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機(jī)箱尺寸 |
480×280×89mm(2U 19”機(jī)箱) |
特殊功能：
1、手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機(jī)配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過(guò)程中人工終止鍍膜；
3、手動(dòng)控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動(dòng)和半自動(dòng)鍍膜中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題或出現(xiàn)故障，能停止鍍膜并能自動(dòng)保存當(dāng)前狀態(tài)，待故障**后，可從中斷膜系繼續(xù)鍍膜；
5、自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當(dāng)前功率時(shí)間鍍膜、切換晶片繼續(xù)（多晶片探頭）；
6、兩個(gè)源同時(shí)預(yù)熔：當(dāng)前層鍍膜開(kāi)始過(guò)程中，可選擇同時(shí)對(duì)第2層進(jìn)行預(yù)熔，以滿足對(duì)時(shí)間要求緊張的場(chǎng)合；
7、密碼保護(hù)：膜系和膜層參數(shù)密碼保護(hù)功能，保護(hù)工藝參數(shù)不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數(shù)據(jù)記錄：自動(dòng)或半自動(dòng)鍍膜時(shí)，系統(tǒng)可記錄每層膜的成膜時(shí)間、*終厚度速率參數(shù)。
