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一、應用范圍:
本膜厚監控儀適用于真空電阻熱蒸發、磁控濺射等鍍膜厚度測量,到達設置厚度自動關閉擋板;通過液晶顯示使您能連續獲取完整的沉積數據,包括速率、厚度和晶體振蕩頻率。
二、技術參數:
CY-FTM-V監控儀
晶振頻率
6MHz
顯示方式
液晶屏顯示
操作方式
面板按鍵
厚度顯示范圍
0-99μ9999?
厚度顯示分辨率
1?
速率顯示范圍
0-9999.9?
速率顯示分辨率
0.1?/s
鍍膜層數
16
探頭輸入
4路(任選一路工作)
工具因子
0.01-99.99
材料存儲
52種
鍍膜巡回次數
0-99
通 訊
RS232
源/擋板
2組繼電器觸點
機箱尺寸
480×250×89mm(2U
19”機箱)